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一种高密度Ag纳米柱表面增强拉曼散射衬底的制备方法

摘要

本发明涉及一种高密度Ag纳米柱表面增强拉曼散射衬底的制备方法,包括:在基片上制备Ag金属膜;对具有Ag金属膜的基片进行退火,得到具有Ag纳米半球模板的基片;以及将具有Ag纳米半球模板的基片倾斜放置在蒸镀腔室内,通过电子束蒸镀在所述Ag纳米半球模板上生长高密度Ag纳米柱状结构,得到所述SERS衬底。制备得衬底具有丰富活性位点的纳米柱状结构且柱状结构分布均匀。

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法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-07-14

    授权

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  • 2018-12-21

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/16 申请日:20180605

    实质审查的生效

  • 2018-11-27

    公开

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