基于(GaY)₂O₃非晶薄膜的高增益日盲紫外光探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于(GaY)₂O₃非晶薄膜的高增益日盲紫外光探测器及其制备方法。所述器件从下至上依次为c面蓝宝石、有源层、一对平行电极，所述有源层为非晶(GaY)₂O₃薄膜。本发明利用Y³⁺离子部分取代Ga₂O₃中的Ga³⁺离子，在提高Ga₂O₃带隙的同时使薄膜由单晶转化为非晶。更高带隙的非晶(GaY)₂O₃薄膜能够有效地降低器件的暗电流，并使截止波长蓝移至280nm以内。同时非晶(GaY)₂O₃薄膜具有更高的缺陷浓度，缺陷不仅能提高增益还能作为复合中心促进载流子复合，得益于此，非晶(GaY)₂O₃器件相对于纯Ga₂O₃器件其响应度显著提高且弛豫时间明显降低，极大提高了对深紫外光的探测能力。