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一种新型纤锌矿GaAs核壳纳米线光电探测器的制备方法

摘要

本发明涉及一种新型纤锌矿GaAs核壳纳米线光电探测器的制备方法,将GaAs(111)B单晶衬底先后浸泡在多聚赖氨酸溶液和金溶胶中,然后清洗并干燥,放入到金属有机气相沉积系统中,通入高纯氢气作为载气,然后通入砷化氢,将衬底加热一段时间,然后降温,再通入三甲基镓,保持一段时间;将衬底加热,然后通入三甲基铟和磷化氢,将所制备的核壳纳米线转移到Si/SiO

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法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-06-30

    授权

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  • 2019-05-07

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/18 申请日:20181122

    实质审查的生效

  • 2019-04-12

    公开

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