一种利用无机蒸汽反应法制备金属氧氮化物薄膜的方法

摘要

一种利用无机蒸汽反应法制备金属氧氮化物薄膜的方法，1)按照金属碳酸盐与金属卤素盐的摩尔比例，分别研磨，金属碳酸盐与金属卤素盐的金属指Ca、Sr或Ba、La或Pr；得到Ca熔盐、Sr熔盐以及Ba熔盐。2)将步骤1)的熔盐取0.1g～0.5g置于瓷舟底部，将Ta、Ti或Nb金属薄膜置于瓷舟顶部；3)将步骤(2)放置好前驱体的瓷舟置于氨气气氛中800℃～900℃煅烧1小时或以上；在高温氨气气氛下让挥发的无机蒸汽与金属薄膜反应，原位在衬底上制备金属氧氮化物薄膜。