基于X射线阵列组合折射透镜的微束X射线荧光分析方法

摘要

一种基于X射线阵列组合折射透镜的微束X射线荧光分析方法，包括如下步骤：1)因X射线辐射不可见，先利用可见光激光器进行系统光轴校准，校准完成后将发出不可见的X射线辐射的X射线光管移入系统光轴；2)利用X射线阵列组合折射透镜集成组件形成荧光探测微束；3)多个不同的X射线子光束被对应的X射线阵列组合折射透镜聚焦，多个焦斑的叠加最终形成X射线探测微束，并照射到样品台上的被检样品；4)X射线探测器贴近样品台上的被测样品放置，收集X射线探测微束照射被测样品所产生的二次荧光，并送入信息采集分析模块进行荧光分析。本发明提供一种同时具备高微区分辨率和高灵敏度，并可进行现场分析的小型化微束X射线荧光分析方法。