法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-26
授权
授权
2019-02-19
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J25/16 申请日:20180925
实质审查的生效
2019-01-18
公开
公开
机译: 半色调型EUV掩模,半色调型EUV掩模的制造方法,半色调型EUV掩模的坯料及图案转印方法
机译: 半色调型EUV掩模,半色调型EUV掩模坯,半色调型EUV掩模的制造方法及图案转印方法
机译: 用于高精度局部电化学测量的微工作电极,制造高精度局部电化学测量的方法,用于剥离用于高精度局部电化学测量的精细工作电极的绝缘涂层的方法