自由曲面干涉仪中自适应零位补偿器空间距离自标定方法

摘要

本发明公开了一种自由曲面干涉仪中自适应零位补偿器空间距离自标定技术。自由曲面干涉仪包括有双通道干涉仪和自适应零位补偿器，在双通道干涉仪内设有CCD一和CCD二，在自适应零位补偿器内设有变形镜DM和部分零位镜，本发明采用了一种多零位约束方法，利用一块校准镜至于自适应零位补偿器之后，通过可变形镜形变实现不同位置的猫眼定位，实现轴上多个位置的零位检测，从而构建多个测量方程用以限制误差耦合，实现ANC空间间距自标定。摒弃了空间间距的直接测量方法，使得下一步的自适应干涉仪中ANC的仪器化成为可能。