公开/公告号CN108792102B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-06-23
原文格式PDF
申请/专利权人 佛山市多谱光电科技有限公司;
申请/专利号CN201810659665.1
申请日2018-06-25
分类号
代理机构广州嘉权专利商标事务所有限公司;
代理人左恒峰
地址 528200 广东省佛山市南海桂城街道平西上海村东平路北侧瀚天科技城B区产业区2号楼C座二楼201单元
入库时间 2022-08-23 11:02:48
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-23
授权
授权
2018-12-07
实质审查的生效 IPC(主分类):B65B63/00 申请日:20180625
实质审查的生效
2018-11-13
公开
公开
机译: 一种清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,一种用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于在用于制造OLED器件的基板上真空沉积的装置
机译: 一种清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,一种用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于在制造OLED器件的基板上真空沉积的装置
机译: 一种清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,一种用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于在用于制造OLED器件的基板上真空沉积的装置