一种光学元件抛光工具及抛光方法

摘要

本发明公开一种光学元件抛光工具，包括连接杆、磨盘、压圈和抛光膜层，连接杆的上端与抛光机构连接，连接杆的下端与磨盘的顶部连接，连接杆的中心轴线与磨盘中心线重合，磨盘的底部中心设置向下凸起的凸台，抛光膜层包覆在凸台上，压圈中心开设中心孔，压圈与磨盘连接并且使包覆了抛光膜层的凸台从压圈的中心孔穿过，压圈将抛光膜层压紧贴附在凸台上。本发明所述的光学元件抛光工具无需安装辅助加工用的拼接块，有效提高加工效率，磨盘的运动范围扩展到元件的外部区域，磨盘不会发生倾覆，使得元件边缘区域与中间区域加工情况一致，有效消除塌边或翘边面形等边缘效应问题，实现光学元件全口径面形的高精度加工。