新提案の研磨工具による精密光学部品の研磨法：第2報－深紫外線用CaF{sub}2単結晶球面レンズの研磨

摘要

従来のピッチと比較して非常に軟質の溶液化ピッチ凝集皮膜をレンズ研磨工具に適用した．第1報では，実施例として光学ガラスBK7製球面レンズの研磨を行い，少量生産向きだが高度熟練技能に代替できることを示した．今回はCaF{sub}2単結晶製球面レンズの研磨を行い，深紫外領域の光学システム用レンズ研磨にも適用できることを示した．CaF{sub}2単結晶に関しては，陰イオン性の水溶性合成高分子を添加したCeO{sub}2スラリーを用いた場合，化学的除去が支配的になり，結晶異方性エッチングにより結晶方位の影響を受けた稜線が鮮明になり，正確な球面が得られないことがわかった．一方，非イオン性の水溶性合成高分子を添加したダイヤモンドスラリーを用いた場合は，結晶異方性エッチングが抑制でき，機械的除去が支配的になって，仕上げ研磨に有効であることなどがわかった．