一种离轴折反式部分补偿器系统及设计方法

摘要

本发明涉及一种离轴折反式部分补偿器系统及设计方法，属于光电检测技术领域。该补偿器系统包括两级补偿器，系统设计优化方法利用三级像差理论建立系统全口径球差、像散关系式，结合近轴光线公式建立关于补偿器结构参数的方程组，之后结合遗传算法求解初始结构参数并在光学设计软件建模，设置优化目标、优化操作数及优化变量进行优化，实现对非旋转对称非球面表面形貌的检测。本发明系统结构简单易实现，可实现一对多的面形检测，降低补偿器的设计难度和加工成本，同时，该补偿器设计方法可有效获得初始结构全局最优值，有效避免现有光学设计软件的自身缺陷，提高非旋转对称非球面检测精度。