光发射器装置、光声气体传感器和用于形成光发射器装置的方法

摘要

本发明涉及光发射器装置、光声气体传感器和用于形成光发射器装置的方法。一种光发射器装置包括发射器部件，所述发射器部件包括布置在膜结构上的加热器结构。膜结构位于第一腔上方。另外，第一腔位于膜结构和发射器部件的支撑衬底的至少一部分之间。此外，加热器结构被配置为：如果预定义电流流过加热器结构，则发射光。另外，光发射器装置包括具有凹部的盖衬底。将盖衬底附接到发射器部件，使得凹部在膜结构和盖衬底之间形成第二腔。此外，第二腔中的压强小于100mbar。