一种适用于扫描/透射电子显微镜成像的自动聚焦方法

摘要

本发明公开了一种适用于扫描/透射电子显微镜成像的自动聚焦方法，包括如下步骤：将样品放置在扫描/透射电子显微镜的样品室内；设置扫描/透射电子显微镜的成像参数、以及物镜/聚光镜的聚焦参数的范围；通过扫描/透射电子显微镜对样品在物镜/聚光镜的聚焦参数的范围内变焦扫描，并生成相应的图像；将获取的图像分割成若干子图像；对子图像进行图像清晰度评价，确定标准子图像，将标准子图像所对应的物镜/聚光镜的聚焦参数定为物镜/聚光镜的最佳聚焦值；将物镜/聚光镜的聚焦参数设定为最佳聚焦值后，对样品进行成像。通过该方法对扫描/透射电子显微成像进行自动聚焦，只需要采集一张样品图像即可聚焦。