法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-12
授权
授权
2017-11-28
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/0236 申请日:20170322
实质审查的生效
2017-10-27
公开
公开
机译: 结构,用于传感器芯片局部表面等离子体激元共振,传感器局部表面等离子体激元共振及其制造
机译: 局部表面等离子体激元共振传感器结构,局部表面等离子体激元共振传感器芯片及其制造方法
机译: 利用全反射镜的表面等离子体激元共振的微腔共振传感器