公开/公告号CN105938806B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-06-05
原文格式PDF
申请/专利权人 爱思开海力士有限公司;岭南大学校产学协力团;
申请/专利号CN201610115735.8
申请日2016-03-01
分类号
代理机构北京三友知识产权代理有限公司;
代理人王小东
地址 韩国京畿道
入库时间 2022-08-23 11:00:26
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-05
授权
授权
2017-11-14
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20160301
实质审查的生效
2016-09-14
公开
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