一种低应力CVD金刚石复合涂层及其制备方法

摘要

本发明涉及一种低应力CVD金刚石复合涂层及其制备方法，包括多层依次交替沉积的微米金刚石涂层和纳米金刚石涂层。制备方法包括：在预处理后的硬质合金基体表面，采用时间模态法依次交替热丝CVD沉积微米金刚石涂层和纳米金刚石涂层。本发明通过时间模态法控制反应气体甲烷的载入流量和时间实现热丝CVD金刚石涂层沉积过程中的热应力自释放，减少涂层内部的热应力积聚，提高涂层与硬质合金基体、复合涂层内部间的结合力，最终得到高性能复合涂层。本发明方法，控制简便，适合于工业化生产。