具有高介电常数薄膜的柔性基板及其制作方法

摘要

一种具有高介电常数薄膜的柔性基板及其制作方法，其中一种具有高介电常数薄膜的柔性基板的制作方法包括以下步骤：提供一柔性基板；在所述柔性基板上形成一多晶硅层；在所述多晶硅层上涂布一HfAlOx溶液，所述HfAlOx溶液通过烘烤退火制程形成一HfAlOx绝缘层；在所述HfAlOx绝缘层上形成一金属栅极；以及对所述多晶硅层上进行参杂、活化，以形成一源极和漏极，其中，所述金属栅极和所述源极和漏极之间以所述HfAlOx绝缘层间隔。借此，降低所述柔性基板的漏电流、减小阈值电压和柔性基板及其显示面板的功耗。