薄膜磁头及制造方法,具有薄膜磁头的万向架组件和磁盘装置

摘要

一种薄膜磁头制造方法包括如下步骤：将在上面形成有大量薄膜磁头元件的晶片切割成每一个都具有多个对准的薄膜磁头元件的排件的步骤，通过离子束腐蚀方法清洗每个所切割排件与磁记录介质相对的表面的步骤，在排件的清洁表面上沉积保护膜的步骤，和之后分离该排件的步骤。