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公开/公告号CN107275241B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-05-19
原文格式PDF
申请/专利权人 日月光半导体制造股份有限公司;
申请/专利号CN201710616109.1
发明设计人 戴晨音;叶勇谊;杨金凤;钟启生;廖国宪;
申请日2014-02-27
分类号
代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人萧辅宽
地址 中国台湾高雄市楠梓加工区经三路26号邮编81170
入库时间 2022-08-23 10:58:48
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-19
授权
2017-11-17
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/58 申请日:20140227
实质审查的生效
2017-10-20
公开
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