一种基于模态局部化效应的三自由度弱耦合谐振式加速度计

摘要

本发明公开了一种基于模态局部化原理的微型谐振式加速度计，属于微机电系统(MEMS)领域。加速度计包括两个完全相同的可动质量块和三个通过机械耦合梁连接在一起的谐振器。本发明使用了三自由度的弱耦合谐振器，进一步增大了谐振器的灵敏度，从而增大了加速度计的灵敏度；每一个谐振器的内外两侧都设计有电容器极板，可实现对于单谐振器的振幅实现差分检测，不仅可以增强信号的强度还消除由驱动电极与检测电极之间存在的电势差引起的馈通电容信号干扰，可以大幅提升测量信号的稳定性与准确度；增加了刚度调节电极，实现了对工作点的灵活选取和线性工作范围的调整。