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公开/公告号CN110402483B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-05-08
原文格式PDF
申请/专利权人 东丽株式会社;
申请/专利号CN201880019795.7
发明设计人 矶贝和生;村濑清一郎;崎井大辅;
申请日2018-02-28
分类号
代理机构中国专利代理(香港)有限公司;
代理人蔡晓菡
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 10:58:01
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-08
授权
2019-11-26
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/336 申请日:20180228
实质审查的生效
2019-11-01
公开
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