The Analysis of the Appropriateness of the Microelectromechanical Systems Sensor Devices (MEMS) Construction on the base of the Active Semiconductor Elements

机译：在有源半导体元件基部底座上的微机电系统传感器装置（MEMS）结构的适当性分析

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The appropriateness of the microelectromechanical systems sensor devices (MEMS) construction on the base of the active semiconductor elements -diodes is analyzed.

机译：分析了微机电系统传感器装置（MEMS）结构在有源半导体元件的基座上的适当性进行分析。

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来源
《International Conference on Modern Problems of Radio Engineering, Telecommunications and Computer Science》|2006年||共1页
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作者
Mykhaylo Matviykiv; Mykhaylo Lobur; Vasyl Teslyuk; Taras Matviykiv;
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会议组织
原文格式 PDF
正文语种
中图分类 TP3-53;
关键词
MEMS; Sensors;

机译：MEMS;传感器;

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