一种基于空腔填充型微结构光纤干涉仪的高精度温度探头

摘要

本发明公开了一种基于空腔填充型微结构光纤干涉仪的高精度温度探头，主要由光源、物镜、半透半反镜、光纤结构、探测器组成，其中光纤结构包含光纤纤芯、光纤包层、温敏腔室、反射涂层和反射涂层；光源发射出光透过物镜经过半透半反镜进入光纤纤芯，当光源到达温敏腔室的表面时，一部分光被反射到反射涂层再原路返回进入光纤纤芯；另一部分光直接进入温敏腔室，到达反射涂层后，再原路返回进入光纤纤芯，返回的两路光信号经过半透半反镜反射至探测器。本发明可应用于狭小空间、高腐蚀环境下的温度精准监测，并可以根据实际需要选择不同的敏感材料实现对不同参数的实时监测。