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激光损伤硅基或锗基光学元件表面形貌数字化表征方法

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本发明提供了一种激光损伤硅基或锗基光学元件表面形貌数字化表征方法，以解决现有方法仅能定性描述损伤形貌、表征结果不足以支持后续系统输出特性分析，或者虽然能完整获取损伤表面信息但数据量过大的问题。本发明首先对光学元件的损伤表面进行三维形貌测试，获取完整的三维表面数据，然后利用高斯函数进行二维空间滤波；再利用类sinc函数对损伤形貌曲面的空间截面内的曲线进行拟合，得到拟合目标函数及参数解集U

著录项

公开/公告号CN109115125B

专利类型发明专利
公开/公告日2020-05-05

原文格式PDF
申请/专利权人西北核技术研究所;
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申请/专利号CN201811092972.2
发明设计人师宇斌;张检民;窦鹏程;张震;李云鹏;徐作冬;
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申请日2018-09-13
分类号
代理机构西安智邦专利商标代理有限公司;
代理人杨引雪
地址 710024 陕西省西安市灞桥区平峪路28号
入库时间 2022-08-23 10:57:36

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-05-05

授权

授权
2019-01-25

实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/24 申请日:20180913

实质审查的生效
2019-01-25

实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/24 申请日:20180913

实质审查的生效
2019-01-01

公开

公开
2019-01-01

公开

公开
2019-01-01

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