法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-05
授权
授权
2018-10-26
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20180404
实质审查的生效
2018-10-26
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20180404
实质审查的生效
2018-09-28
公开
公开
2018-09-28
公开
公开
2018-09-28
公开
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机译: 具有用于评估互连的电特性的测试结构的半导体互连的制造方法
机译: 具有用于评估互连的电特性的测试结构的半导体互连
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