一种平面耿氏毫米波、太赫兹功率放大器及其制备方法

摘要

本发明涉及一种平面耿氏毫米波、太赫兹功率放大器及其制备方法，由下至上依次包括衬底、沟道层及共平面波导电极，沟道层的载流子浓度为1×10¹⁴～1×10¹⁷cm^‑3，沟道层的长度为1～10μm，沟道层的载流子浓度与沟道层的长度的乘积N的取值范围为1×10¹¹cm^‑2＜N＜1×10¹⁴cm^‑2。本发明设计平面结构的耿氏功率放大器，器件具有明显的负微分电阻效应，能够实现微波到太赫兹频率的功率放大。有利于平面耿氏器件作为微波或太赫兹放大器在微波及太赫兹通信、雷达、成像等领域的应用。