一种光谱共焦线扫描快速测量物体表面台阶的方法

摘要

本发明公开了一种光谱共焦线扫描快速测量物体表面台阶的方法，包括：搭建光谱共焦线扫描装置；检测标准平面反射镜，沿轴向移动标准平面反射镜位置，同时监测标准平面反射镜的坐标位置，标定出色散聚焦元件的色散聚焦范围以及光谱共焦线扫描装置的波长‑位置关系曲线；将标准平面反射镜替换为样品进行检测，并将样品表面置于色散聚焦元件的色散聚焦范围内；通过分析光谱仪返回信号的强度点扩散函数，利用质心法计算峰值坐标位置得到返回信号波长，并根据波长‑位置关系曲线，解码出样品表面的最大高度差，完成样品表面台阶的快速测量。本发明结构简单、测量速度快、精度高、适用范围广，可适用于透明或不透明台阶、沟槽、倾斜表面等精密测量。