测量LTPS显示面板的TFT电性的方法

摘要

本发明提供一种测量LTPS显示面板的TFT电性的方法，其通过化学试剂同时与有机平坦层以及第二金属层中的铝反应，去除有机平坦层、第二金属层中的铝、以及第二金属层中的位于铝和有机平坦层之间的第一金属材料，仅保留第二金属层中位于远离所述有机平坦层一侧的第一金属材料，去除有机平坦层时不需要保留第二金属层中的铝，避免因第二金属层中的铝表面蚀刻不均匀导致的TFT电性测量偏差，能够准确测量LTPS显示面板的TFT电性，提升LTPS显示面板的TFT电性的测量成功率，保证LTPS显示面板产品良率。