LTPS TFT-LCD的一种薄化方法

摘要

近年来,随着液晶显示面板行业的发展,面板行业出现了很多新的面板制造工艺,而LTPS是其中较为成熟的一种。市场对于液晶面板质量需求越来越高,产品薄化成为市场的主流趋势。通过薄化将产品由原来的1.0mm减薄为0.5mm、0.4mm、0.3mm等。本文主要探讨了LTPS TFT-LCD产品的一种薄化方法——Top-Spray化学薄化法，探讨了薄化原理、工艺流程、控制工艺及品质等问题。