一种高掺镁的钛酸锶铅高介电可调性薄膜材料的制备方法

摘要

本发明公开了一种高掺镁的钛酸锶铅高介电可调性薄膜材料的制备方法。以钛酸丁酯，醋酸铅，碳酸锶和碳酸镁为原料，乙二醇甲醚和醋酸为溶剂，配制溶胶先驱体。采用已配制的相关溶胶先驱体作为镀膜溶液，采用浸渍提拉法制备薄膜涂层。得到的涂层经烘干后在高温下快速热处理，然后烧结得到PSMT铁电薄膜。本发明工艺简单，制备的薄膜质量较好，显示了较高的介电可调性(介可调性可达35%到63%)，具有良好的应用前景。