一种质量厚度为600-1200μg/cm²自支撑铟薄膜及其制备方法

摘要

本发明公开了一种大尺度自支撑铟薄膜及其制备方法，包括以下步骤：（1）在衬底表面沉积氯化钠脱模剂；（2）采用90度磁过滤阴极真空弧(FCVA)系统在衬底表面沉积氧化锌缓冲薄膜；（3）将样品旋转180°，采用直管磁过滤阴极真空弧(FCVA)系统再次沉积铟薄膜；（4）将得到的衬底放入盛有乙醇溶液的容器中进行脱模处理；（5）用打捞板将铟薄膜捞起，得到质量厚度为600‑1200μg/cm²自支撑铟薄膜。采用本发明可以制备出质量厚度为600‑1200μg/cm²、具有低应力、均匀且致密的自支撑铟薄膜，且工艺简单。