宽场大气压扫描电子显微镜

摘要

大气压扫描电子显微镜实现了在广泛范围的气体压力、加速电压和图像分辨率下的低放大倍率的宽视场。这是基于使用尺寸减小的压力限制孔径以及位于电子光学柱端部的小孔径处的扫描束枢轴点。第二孔径位于物镜的主平面上。双偏转元件首先在透镜的主平面处或其附近的枢轴点处扫描和摇摆束，而透镜后偏转装置在光学柱的端部处的孔径处或附近的第二枢轴点扫描和摇摆束。第一枢轴处的孔径也可用作束限制孔径。在替代方案中，在主平面上没有束限制孔径的情况下，最大量的束射线穿过透镜，以及在没有透镜后偏转装置的情况下，束由在最后的透镜处或其下方附近的非常小的孔径形成(限制)同时该孔径撇去宽束的移动部分，该束在主平面上围绕枢轴物理地摇摆，但是有明显的枢轴点靠近孔径且在孔径上方，所有这些导致被检查的样本的宽视场。