公开/公告号CN107765359B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-04-21
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN201711103664.0
申请日2017-11-10
分类号G02B5/30(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人喻颖
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2022-08-23 10:56:05
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-04-21
授权
授权
2018-03-30
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B5/30 申请日:20171110
实质审查的生效
2018-03-30
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 5/30 申请日:20171110
实质审查的生效
2018-03-06
公开
公开
2018-03-06
公开
公开
2018-03-06
公开
公开
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