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基于谐振腔增强波导传输的高效波片

摘要

一种基于谐振腔增强波导传输的高效波片,包括:介质衬底;一维周期性金属‑介质‑金属波导层,设置于介质衬底上;介质包覆层,设置于一维周期性金属‑介质‑金属波导层上;其中,一维周期性金属‑介质‑金属波导层由一维周期性排布的金属和介质矩形条带构成;相邻金属矩形条带与位于相邻金属矩形条带中的介质矩形条带构成金属‑介质‑金属波导,在工作波段同时支持TE模式与TM模式传输;介质衬底与介质包覆层以及波导层共同构成法布里珀罗谐振腔。本发明的基于谐振腔增强波导传输的高效波片,具有转换效率高、工作波段宽的特点。

著录项

  • 公开/公告号CN107765359B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-04-21

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;

    申请/专利号CN201711103664.0

  • 发明设计人 韦欣;胡晓斌;李健;宋国峰;

    申请日2017-11-10

  • 分类号G02B5/30(20060101);

  • 代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人喻颖

  • 地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号

  • 入库时间 2022-08-23 10:56:05

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-04-21

    授权

    授权

  • 2018-03-30

    实质审查的生效 IPC(主分类):G02B5/30 申请日:20171110

    实质审查的生效

  • 2018-03-30

    实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 5/30 申请日:20171110

    实质审查的生效

  • 2018-03-06

    公开

    公开

  • 2018-03-06

    公开

    公开

  • 2018-03-06

    公开

    公开

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