一种用于纳米薄膜沉积的液相基板火焰合成装置和方法

摘要

一种用于纳米薄膜沉积的液相基板火焰合成装置和方法，属于纳米及超细材料制备领域。该装置包括燃烧系统和液相基板沉积系统。该方法是通过火焰合成方法生长的纳米颗粒在液体表面进行沉积，液面的柔性使得颗粒沉积过程在二维方向进行，进而使得生长的单个颗粒可及时分散开来，降低了颗粒的团聚程度，形成单分散性较好，薄膜厚度可控，密度均匀的纳米薄膜，通过升降台将附着板升起，使得薄膜在表面张力作用下附着在多孔板上，将纳米膜置于烘箱烘干，即可得到致密薄膜。本发明不仅可以使得制备的纳米材料粒径分布更加均匀，还可以提高材料制备效率，适用于大规模生产各种氧化物薄膜，如二氧化钛、氧化铝以及氧化铜等薄膜材料。