一种用于聚焦离子束机台提取样品的方法

摘要

本发明提出一种用于聚焦离子束机台提取样品的方法，包括下列步骤：提供欧姆尼探针；使用沉积钨将样品薄片粘连到欧姆尼探针上；通过欧姆尼探针将样品转移到样品载体上；通过聚焦离子束切断的方法将样品和欧姆尼探针分离；在后续制样时，通过第一次残留样品与本次样品进行连接；通过聚焦离子束切断的方法将本次样品和第一次残留样品进行切断。本发明提出的用于聚焦离子束机台提取样品的方法，利用样品和样品之间的连接和切断来提取新的样品，从而避免欧姆尼探针的损耗并延长欧姆尼探针的使用寿命。