微波与等离子体耦合率可调的谐振腔及微波等离子体装置

摘要

本发明实施例提供了一种大功率微波与其激发产生的等离子体耦合率可调的谐振腔，包括：圆柱谐振腔、等离子体生成装置、支撑装置及调节装置；等离子体生成装置，与支撑装置连接；支撑装置，一端连接等离子体生成装置，另一端连接调节装置；调节装置，与支撑装置连接；谐振腔，用于产生激发等离子所需的强微波场，包裹等离子体生成装置、支撑装置及调节装置。本发明实施例还提供了一种高效率的微波等离子体装置,包括：微波传输装置及上述谐振腔；微波传输装置与微波和等离子体耦合率可调的谐振腔耦合一起，用于向微波与等离子体耦合率可调的谐振腔内传输大功率微波并激发等离子体。本发明可以获取动态可调与最大化的等离子体电离效率。