一种薄膜厚度与折射率同时测量的装置及测量方法

摘要

本发明公开了一种薄膜厚度与折射率同时测量的装置及测量方法，属于光学测量领域。具体包括宽谱光源输出模块、窄线宽激光光源输出模块、膜厚测量探头模块、解调干涉仪模块以及采集与控制模块五部分。本发明将窄线宽激光光源输出模块的输出信号直接输入到解调干涉仪模块中，满足干涉信号共光路的同时避免了膜厚测量探头模块中激光透射光以及激光多次反射光对干涉信号质量的影响；通过控制膜厚测量探头尾纤的长度避免了膜厚测量探头模块中宽谱光透射光对特征信号峰识别的干扰。本发明实现不需标定样品标定即可对薄膜的厚度及折射率进行非接触测量，具有自校准、测量结果可溯源、稳定性高、特征信号识别简单等优点。