一种数字全息与微分干涉联合的双通道相移相位测量显微镜

摘要

一种数字全息与微分干涉联合的双通道相移相位测量显微镜，包括：用于生成测量光束的光束调整及耦合单元；用于接收测量光束以形成相应成像光束和第一调整剪切相移正交偏振光的相移微分干涉显微镜单元；用于接收测量光束，并形成相应成像光束的相移数字全息显微镜单元；用于接收第一调整剪切相移正交偏振光，并输出相应成像光束的普通显微镜成像组件；用于控制形成成像光束，并对成像光束进行相位计算和分析以获取相位计算和分析的结果的控制分析单元。可见，实施本发明实施例可以提高对微小透明样品实时三维动态相位测量的准确度，为细胞、微流场和微器件研究及相关的工程应用提供一种新的定量测量手段。