法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-17
授权
授权
2019-06-11
实质审查的生效 IPC(主分类):G01P15/097 申请日:20181228
实质审查的生效
2019-06-11
实质审查的生效 IPC(主分类):G01P 15/097 申请日:20181228
实质审查的生效
2019-05-17
公开
公开
2019-05-17
公开
公开
2019-05-17
公开
公开
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机译: 硅基板阳极氧化工艺和加速度计制造工艺
机译: 原子芯片集成材料波陀螺仪和加速度计
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