石英振梁加速度计微细加工工艺研究

摘要

介绍了石英振梁加速度计微细加工工艺。对其中的重点、难点进行研究分析。对石英晶片上Cr—Au掩蔽薄膜的沉积工艺，从理论上分析了影响薄膜抗蚀性因素，提出了解决办法。在湿法腐蚀过程中，强调了精确控制腐蚀深度和截面形貌的重要性。并对其带来的影响进行了分析。