公开/公告号CN108107683B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-03-20
原文格式PDF
申请/专利权人 苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司;
申请/专利号CN201711352487.X
申请日2017-12-15
分类号
代理机构苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人叶栋
地址 215000 江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城中北区23幢综合楼
入库时间 2022-08-23 10:52:40
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-20
授权
授权
2018-06-26
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20171215
实质审查的生效
2018-06-26
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20171215
实质审查的生效
2018-06-01
公开
公开
2018-06-01
公开
公开
2018-06-01
公开
公开
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