在恒压模式下电化学抛光的方法

摘要

本发明揭示了一种在恒压模式下电化学抛光的方法，包括：预设一个具有电流分布的恒流配方，包括晶圆上具有不同半径的多个位置以及为每个位置预设的电流；使用恒流配方抛光第一晶圆；在抛光过程中检测并记录每个位置的电压；生成具有电压分布的恒压配方，包括多个位置以及对应每个位置记录的电压；使用恒压配方抛光第二晶圆。