公开/公告号CN100362621C
专利类型发明授权
公开/公告日2008-01-16
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申请/专利权人 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司;
申请/专利号CN200510126344.8
发明设计人 南建辉;
申请日2005-12-07
分类号H01L21/00(20060101);H01L21/67(20060101);C23C14/22(20060101);C23C16/44(20060101);C23F4/00(20060101);G01L21/00(20060101);
代理机构11002 北京路浩知识产权代理有限公司;
代理人王常风
地址 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
入库时间 2022-08-23 09:00:13
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-08-14
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/00 变更前: 变更后: 申请日:20051207
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2009-08-12
专利实施许可合同的备案 合同备案号:2009110000095 让与人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 受让人:中轻太阳能电池有限责任公司 发明名称:减少薄膜式电容真空规零点漂移的装置及其方法 授权公告日:20080116 许可种类:独占许可 备案日期:2009.5.14 合同履行期限:2009.4.10至2015.4.9 申请日:20051207
专利实施许可合同的备案
2009-08-12
专利实施许可合同的备案 合同备案号:2009110000095 让与人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 受让人:中轻太阳能电池有限责任公司 发明名称:减少薄膜式电容真空规零点漂移的装置及其方法 授权公告日:20080116 许可种类:独占许可 备案日期:2009.5.14 合同履行期限:2009.4.10至2015.4.9合同变更 申请日:20051207
专利实施许可合同的备案
2008-01-16
授权
授权
2008-01-16
授权
授权
2006-12-20
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-12-20
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-10-25
公开
公开
2006-10-25
公开
公开
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