法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-13
授权
授权
2017-08-25
实质审查的生效 IPC(主分类):B01F3/02 申请日:20170210
实质审查的生效
2017-08-25
实质审查的生效 IPC(主分类):B01F 3/02 申请日:20170210
实质审查的生效
2017-06-13
公开
公开
2017-06-13
公开
公开
2017-06-13
公开
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机译: 确定混合气体中至少一种单独气体浓度的方法和系统以及分析混合气体的方法
机译: 一种半导体生产系统,以及从这类系统中流过的至少一种全混合气体的回收
机译: 用于检测和测量混合气体中一种或几种气体的系统