公开/公告号CN106062925B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-03-10
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201580012315.0
申请日2015-02-09
分类号
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 10:51:48
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-10
授权
授权
2017-04-05
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20150209
实质审查的生效
2017-04-05
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20150209
实质审查的生效
2016-10-26
公开
公开
2016-10-26
公开
公开
机译: 霍尔效应增强型电容耦合等离子体源,缓解系统和真空处理系统
机译: 使用霍尔效应增强型电容耦合等离子体源冷却组合物的方法,减排系统和真空处理系统
机译: 霍尔效应增强的电容耦合等离子体源,打击系统和真空处理系统