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一种弱耦合谐振式传感器的线性化输出检测方法

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摘要

本发明涉及一种基于模态局部化的弱耦合谐振式传感器的线性化输出检测方法，属于微机电系统(MEMS)领域。该方法具体操作时包括如下步骤：步骤一：判断双谐振器为同相驱动或反相驱动状态，如为同相驱动，则选取一阶模态作为工作模态，如为反相驱动，则选取二阶模态作为工作模态；步骤二：检测两谐振器的振幅差(|X

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1. 一种弱耦合谐振式传感器的线性化输出检测方法 [P] . 中国专利： CN108761134B . 2020.02.14
2. 一种弱耦合谐振式传感器的线性化输出检测方法 [P] . 中国专利： CN108761134A . 2018-11-06
3. ENERGY DETECTION METHOD FOR REGULATING OUTPUT OF RESONANT SURGICAL INSTRUMENT BY OPTICAL TEMPERATURE SENSOR AND SURGICAL INSTRUMENT USING SAME [P] . 韩国专利： KR20200056591A . 2020-05-25

机译：利用光学温度传感器和手术器械调节谐振式手术器械输出功率的能量检测方法
4. Pressure sensor output linearization method involves moving signal transducer along diaphragm such that output of sensor is linear function of measured pressure [P] . 德国专利： DE10003569A1 . 2001-08-02

机译：压力传感器输出线性化方法包括沿膜片移动信号传感器，以使传感器输出为所测压力的线性函数
5. Sensor e.g. temperature sensor, detecting method, involves selectively connecting sensor with inputs of evaluation circuits, and carrying out test by sensor to determine whether feasible measured variable is set to output of circuits [P] . 德国专利： DE102007053592A1 . 2009-05-14

机译：传感器例如温度传感器，一种检测方法，包括选择性地将传感器与评估电路的输入连接，并通过传感器进行测试以确定是否将可行的测量变量设置为电路的输出