法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-02-14
授权
授权
2016-12-21
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/027 申请日:20151130
实质审查的生效
2016-12-21
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/027 申请日:20151130
实质审查的生效
2016-11-23
公开
公开
2016-11-23
公开
公开
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