对半导体对象执行操作的处理方法、系统及装置

摘要

本发明公开了一种对半导体对象执行操作的处理方法、系统及装置。其中，该处理方法包括：接收对半导体对象执行操作的操作请求；判断操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定；若操作的操作权限被锁定，则拒绝操作请求；若操作的操作权限未被锁定，则执行操作请求，并锁定半导体对象对应操作的操作权限。通过本发明，解决了现有技术中对同一个FOUP中的不同Lot同时执行操作，执行操作的对象不能全被操作成功，导致系统与实际帐料不符的问题，提高了同时对Lot/FOUP执行操作的成功率。