法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-02-14
授权
授权
2017-05-03
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/28 申请日:20150313
实质审查的生效
2017-05-03
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/28 申请日:20150313
实质审查的生效
2016-11-16
公开
公开
2016-11-16
公开
公开
机译: 形成金属有机钨的方法,用于线路(MOL)应用
机译: 用于生产中线(MOL)应用的金属有机钨的形成方法
机译: 用于生产中线(MOL)应用的金属有机钨的形成方法