用有机聚合物材料实现的波导结构光学陀螺及其制备方法

摘要

用有机聚合物材料实现的波导结构光学陀螺及其制备方法，采用有机聚合物材料代替传统的光导纤维制成波导结构光学陀螺，波导结构光学陀螺包括干涉型和谐振型光波导结构光学陀螺；干涉型光波导结构光学陀螺为一个多层或单层多圈的螺旋状光波导环构成，谐振型光波导结构光学陀螺为一个单一光波导环构成。其制作工艺步骤为：a.采用旋转涂覆的方法把有机聚合物材料溶液旋涂在衬底上，从而制备单层或多层有机聚合物薄膜；b.按照预先设计所需要的环形波导形状，用金属材料制作掩模板；c.用激光光刻方法或紫外漂白方法制备环状波导，从而构成波导结构陀螺。